그린광학은 22일 반도체 전공정 핵심인 포토(노광) 공정 설비용 정밀 광학·센서 모듈의 고객사 최종 품질 인증을 완료하고 양산 공급에 돌입했다고 밝혔다.

해당 제품군은 국내 반도체 장비 기업의 포토 공정 핵심 설비에 적용되고 있다. 이 설비는 글로벌 반도체 기업 S사의 첨단 미세공정 생산라인에 공급돼 실제 운용 중인 것으로 전해졌다.

그린광학이 공급하는 제품은 웨이퍼 위치와 안착 상태를 실시간 감지하는 고정밀 센서 모듈과 감광액(PR·포토레지스트(Photoresist)) 처리용 초정밀 광학 모듈 등이다.

노광 공정은 반도체 회로를 웨이퍼에 빛으로 새기는 핵심 전공정으로, 미세공정 구현을 위해 높은 정밀도가 요구된다.

이번 공급은 그린광학이 기존 HBM 검사 중심 후공정 분야에서 확보한 기술력을 바탕으로 전공정 노광 설비 분야까지 공급 영역을 확대했다는 점에서 의미가 있다.

그린광학은 고객사 품질 인증을 거쳐 양산 공급 단계에 진입했으며, 향후 차세대 미세공정 투자 확대에 따라 관련 공급 물량 증가 가능성도 거론된다.